ZYGO深耕超精密制造技术领域数十年，是全球表面测量、位置传感与精密光学元件制造领域的企业，始终以前沿技术为各行业打造专业光学计量解决方案。NewView™
90003D光学表面轮廓仪作为ZYGO旗下核心计量产品，深度融合非接触测量技术、亚纳米级高精度性能与全场景智能化设计，打破传统精密测量的环境与操作限制，既满足实验室高端研发的严苛测量需求，也适配工业生产全流程的过程控制与在线检测，成为各行业实现精密计量、提升产品质量与研发效率的关键工具。
核心技术：筑牢超精密测量的技术基石
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9000以相干扫描干涉技术（CSI）为核心测量原理，这也是ZYGO多款3D光学轮廓仪的技术核心。设备通过窄线宽滤波的LED光源生成干涉条纹，精准采样分析样品测试表面与理想参考面的偏差，借助干涉显微物镜垂直于样品表面扫描，可获取整个视场区域的三维数据地图，而非单一剖面线轮廓，实现亚纳米级的形貌纵向分辨率，让纳米级的表面形貌特征无所遁形。
为保障测量高保真度，ZYGO为每一款配套物镜进行专属优化，使干涉条纹包络的峰值位置与物镜光学成像焦点精准契合，确保全放大倍数下测量精度始终稳定。同时，设备融合SureScan?抗振扫描技术，可有效抵消工业环境中的振动干扰，打破传统精密测量设备对严苛无振环境的依赖，实现工业现场的高精度计量。
高精度、高效率、高适配的表现
亚纳米级精度，测量结果国际认证
设备拥有优秀的测量精度与重复性，表面形貌重复性优于0.08nm，RMS重复性达0.008nm；100×物镜下光学横向分辨率可达0.34μm，100×物镜2×zoom下空间采样分辨率达0.04μm。台阶高度测量重复性0.1%、精度0.03%，能精准捕捉样品表面纳米级形貌特征，测量结果符合ISO25178、ISO4287/4288等国际标准，为计量结果提供背书。
高速测量+简易操作，大幅提升计量效率
设备支持高速扫描，不同测量阵列下最大扫描速度可达171μm/sec，数秒内即可捕获百万级数据点，摆脱传统测量的低效率痛点。搭载PartFinder自动条纹对焦与SmartSetup智能设置功能，无需专家级专业培训，1分钟内即可自动找到条纹并完成测试，大幅降低操作门槛，让非专业人员也能轻松完成精密测量。
同时，设备配备0.5X-100X多倍率物镜，涵盖标准、长焦、超长焦多种工作距离，搭配0.5X、0.75X、1.5X、2.0X可选zoom切换，视场范围可达0.04-17.49mm，集成图像拼接功能后还可实现更大范围测量，适配不同尺寸、不同精度要求的样品检测。
全材质适配，无损伤测量更省心
设备具备很强的样品适配能力，可测量透明、不透明、镀膜、非镀膜、反射、弱反射等各类材料表面，样品反射率适配范围达0.05%-100%；可耐受光滑样品55°（100×物镜）、散射面86°的最大倾斜度，样品最大尺寸可达89×203×203mm（高×宽×长），更大尺寸样品可部分悬空放置测量。全程无需特殊样品制备流程，非接触、无破坏性测量，有效保护样品原有形貌与性能。
智能内核：软硬件协同，解锁多元分析能力
专属Mx™
分析测量软件，全流程智能管控
设备搭载ZYGO专属Mx?分析测量软件，实现系统全流程控制与数据分析的一体化操作：支持交互式三维形貌展示，让表面特征可视化呈现；可输出精准定量数据，配备直观导航栏与内置过程控制（SPC）的统计、控制图表，还能自定义设置通过/失败限制，贴合工业生产的质量管控需求。
丰富分析功能，适配多元测量需求
软件内置多项实用分析功能，区域分析工具可智能化分离并分析测量数据的不同区域，实现特征高度尺寸量化、沟槽宽度深度分析等；支持拼接测量与自动化功能，可拼接高倍率高分辨率数据，自动测试样品不同区域，兼顾大视场范围与高数据密度；内置Python编程环境，可编写自动化测试程序或自定义分析功能，还能创建专属软件界面和控制板，灵活适配不同行业的个性化测量需求。
此外，设备搭载SmartPSI技术，实现高精度、高速、低噪声测量，对超光滑表面的Sq结果测量可达0.06nm，为超光滑表面检测提供更精准的解决方案。
硬核配置：稳定可靠，适配多场景环境
核心硬件，精准耐用
扫描装置采用闭环反馈电容控制精密压电陶瓷，带防撞保护，纵向扫描范围涵盖150μm精密压电陶瓷扫描与20mm扩展扫描，兼顾精细扫描与大范围测量；光源为专利固态白光光源，带手动限位、孔径限位与光谱过滤功能，光线稳定且可灵活调节；测量阵列可选1600×1200、1000×1000、1000×600、1000×200多种规格，适配不同测量效率需求。
样品台分手动与电控两种类型，手动平台XY向平移范围100mm、倾斜±3°，电控平台XY向平移范围150mm、倾斜±3°，编码XYZ轴可选配；精密聚焦支持电控手动与聚焦辅助自动聚焦，100μm行程下分辨率达0.1μm，软件Mx中还集成样件观察窗，便于样品快速定位与实时观察。
整机规格合理，环境适应性强
设备主机尺寸75×64×56cm，含支撑且门关时最大高度151×73×61cm，抽屉闭合时83×73×61cm，主机重量约91Kg，整套系统含支撑重量229Kg，可按需选配专用工作台，布局灵活不占过多空间。
控制系统采用i7级别PC，搭配23寸1080p显示器，软件运行于64位MicrosoftWindows10系统，操作流畅、响应迅速。设备对环境适应性强，工作温度15-30℃（温度变化率＜1.0℃/15分钟），相对湿度5%-95%且无凝结；内置隔振系统，可隔离1-120Hz的震动，震动标准达VC-C或更好，声学标准NC30或更好；供电为100-240VAC、50/60Hz，全球多地区均可适配使用。
全场景应用：覆盖多行业，赋能研发与生产
NewView?9000凭借多维度性能优势，成为跨行业的精密计量利器，覆盖精密制造、研发创新等多个领域，为各行业技术升级与产品质量提升提供坚实计量支撑：
1.精密机械加工：测量机械零件表面粗糙度、面形、波纹度，精准检测台阶高度、沟槽尺寸等关键参数，可捕捉传动齿轮接触面中频波纹度等传统计量方式难以发现的误差，严格控制制造工艺，提升零部件加工质量。
2.光学制造：适配光学镜片、透镜等元件的超精密测量需求，借助多倍率物镜测量不同空间频率的表面特征，SmartPSI?技术快速完成超光滑光学表面的粗糙度测量，精准管控精密光学制造工艺。
3.消费电子：测量手机摄像头、面板、半导体器件等产品的台阶、深度、纹理与关键尺寸，单台设备完成多参数测量，节省工艺时间；灵活的平台与可移植应用程序，实现从研发到量产的计量方案复用，适配消费电子行业小批量到大批量的生产需求。
4.摩擦学与材料研发：对金属、陶瓷、玻璃、PTFE纳米复合膜、类金刚石薄膜等多种材料进行纳米级精度表面特征测量，为磨损分析、新材料表面性能研究提供定量3D形貌数据，加速新材料研发进程。
5.透明薄膜测量：可测量厚度大于400nm的薄膜，同时获取薄膜厚度与表面形貌数据，适配光学薄膜、电子薄膜等产品的检测需求。
6.先进技术研发：为新材料、新表面、新工艺的科学探索提供高精度、高重复性的量化计量结果，助力研发人员分析样品表面特征与性能的关联，加速技术创新。
7.医疗与新兴领域：测量人工关节植入体等医疗精密部件，以及增强现实、虚拟现实显示器件等创新产品，为高端医疗与新兴科技产品的质量把控提供计量保障。
定制服务：全周期保障，贴合个性化需求
ZYGO拥有专业的工程师团队，可根据客户的关键计量需求，为NewView?9000提供定制化解决方案，包括定制样品夹具、定制保护罩、专属隔振系统、定制软件功能，以及系统集成与OEM服务等，贴合不同行业、不同企业的个性化测量需求。
同时，ZYGO在全球多地布局完善的服务网络，凭借数十年超精密计量技术经验，为客户提供全周期技术支持与服务保障，定期维护、及时响应，确保设备始终保持稳定的测量性能，贴合客户在研发与生产中的长期计量需求。
从实验室的高端研发到工业现场的在线检测，ZYGONewView?90003D光学表面轮廓仪以超精密的测量性能、智能化的操作体验、全场景的适配能力，成为各行业精密计量的核心之选，助力企业以精准计量推动工艺升级，以品质铸就产品核心竞争力。
光学计量广泛用于实验室测量和工业制造中过程控制。基于光学计量方案测量表面形貌；具有非接 触、无破坏性、高敏感性的特点，计量结果分辨率和精度出色——这都是现代工业制造和研发 应用所必需的。
为什么选择3D 光学轮廓仪?
现代科技产品开发，常常是由关键表面的关 键性能来推动。3D 光学轮廓仪，用于测量关 键面的光洁度、粗糙度和形貌。ZYGO 3D光 学轮廓仪是您测量工具，因为我们能精 确、定量、非接触测量，在数秒内捕获百万 数据点，表征样品表面纳米级形貌特征，计 量结果符合ISO 标准。
NewViewTM 9000 3D 光学表面轮廓仪，易于使用，拥 有多项优良专业与创新技术，ZYGO 为您提供这一专业解决方案。
它们高度自动化，用途广泛，测试速度快，精度高；可选多种 配置，用于测量超光滑，粗糙或者大坡度表面。
在测量不同表面结构和纹理时，客户可以选择获得数百个参数结 果，包括符合ISO 25178标准的表面粗糙度结果，以及符合
ISO 4287/4288的二维轮廓参数。
ZYGO 3D光学轮廓仪，不仅仅是比传统的接触式轮廓仪测量表 面时更快，测量的视野更大，数据点更多；我们在精度和准确度 上，比传统的接触式轮廓仪更上一层楼。
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