非接触3D表面粗糙度轮廓形状测量机四大使用原则

更新时间：2026-02-09 点击次数：40

　　非接触3D表面粗糙度轮廓形状测量机凭借无损、高分辨、高效率等优势，广泛应用于精密制造、半导体、光学元件、生物材料等领域，用于测量Ra、Rz、Sa、Sq等粗糙度参数及微观三维形貌。若操作不当，易因环境干扰、样品处理失误或参数设置错误，导致数据失真、重复性差甚至设备损伤。正确使用非接触3D表面粗糙度轮廓形状测量机需遵循环境达标、样品合规、参数匹配、校准先行四大原则。

　　一、使用前环境与设备准备

　　恒温防振环境：

　　实验室温度应稳定在20±1℃，湿度40–60%RH，远离空调出风口、电梯井或重型设备；

　　隔振平台启用：

　　确认气浮隔振台正常供气，设备水平泡居中；

　　预热与自检：

　　开机预热30分钟以上，执行系统自校准（如参考镜干涉检查）。

　　二、样品处理与放置规范

　　清洁无污染：

　　用无水乙醇+无绒布清除油污、指纹、粉尘，避免散射干扰；

　　稳固固定：

　　使用真空吸盘、磁性底座或专用夹具，确保样品在扫描中无位移；

　　反射率适配：

　　高反光表面（如镜面）可轻微喷雾（可挥发显像剂），低反光表面（如橡胶）需增强照明。

　　三、测量参数科学设置

　　物镜与模式选择：

　　粗糙表面（Ra＞1μm）选用低倍长工作距物镜；光滑表面（Ra＜0.1μm）用高倍干涉模式；

　　扫描范围与步长：

　　Z向扫描高度应略大于预期峰谷值，XY步长≤奈奎斯特采样极限（通常为横向分辨率的1/2）；

　　滤波与去噪：

　　启用标准滤波器，避免过度平滑丢失真实特征。

　　四、校准与验证

　　定期校准：

　　使用认证标准样块验证垂直与水平精度；

　　重复性测试：

　　同一区域连续测量3次，Sa相对标准偏差应＜3%。