3D光学轮廓仪是一种基于光学干涉原理(主要为白光干涉技术)的高精度非接触式表面形貌测量仪器，能够以亚纳米级分辨率快速重建样品表面的三维微观形貌，广泛应用于半导体制造、精密加工、光学元件、材料科学及科研院所等领域。
3D光学轮廓仪工作原理：
光学干涉原理：
光源发出的光经分光镜分为两束，一束射向被测表面，另一束射向参考镜。两束光反射后相遇产生干涉条纹，干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差。通过垂直扫描被测表面，记录每一点干涉条纹的对比度峰值位置，即可重构出表面三维形貌。
白光干涉技术：
利用白光的短相干特性，仅在光程差趋近于零时形成高对比度干涉条纹。结合Z向扫描与信号处理，实现亚纳米级纵向分辨率(可达0.1nm)，适用于从超光滑到中等粗糙表面的测量。
共聚焦显微技术：
通过共焦小孔滤除非焦平面杂散光，实现层析成像。垂直扫描获取一系列光学切片，重建三维形貌，适合测量大倾斜角度表面和低反射率样品。
多技术融合：
部分型号(如Sensofar S neox)集成白光干涉、共聚焦显微与多焦面叠加技术，实现从超光滑到粗糙表面的全覆盖测量，并提供真彩成像功能。
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