ZYGO 作为深耕超精密制造技术领域数十年的企业，专注于表面测量、位置传感、精密光学元件及组件制造，为各行业提供专业的光学计量解决方案。NewView™ 9000 3D 光学表面轮廓仪是 ZYGO 旗下核心计量产品，依托前沿的光学测量技术与智能化设计，实现了非接触、无破坏性的高精度表面形貌测量，可适配实验室研发与工业生产过程控制等多种应用场景，为不同行业的精密测量需求提供可靠支撑。
核心测量技术
NewView™ 9000 以相干扫描干涉技术（CSI） 为核心测量原理，这一技术也是 ZYGO 多款 3D 光学轮廓仪的技术基石。该技术通过窄线宽滤波的 LED 光源产生干涉条纹，对样品测试表面与理想参考面的偏差进行采样分析，借助干涉显微物镜垂直于样品表面扫描，可获取整个视场区域的三维数据地图，而非单一剖面线轮廓，实现了亚纳米级的形貌纵向分辨率。
为保障测量的高保真度，ZYGO 对每一款配套物镜进行专属优化，让干涉条纹包络的峰值位置与物镜光学成像焦点相契合，确保在全放大倍数下都能保持稳定的测量精度。同时，设备融合 SureScan™抗振扫描技术，可在存在振动的工业环境中完成精密计量，打破了传统精密测量设备对严苛环境的限制。
产品性能与功能特点
高精度与高重复性测量
设备具备优异的测量精度与重复性，表面形貌重复性可优于 0.08nm，RMS 重复性达 0.008nm；光学横向分辨率在 100× 物镜下可达 0.34μm，空间采样分辨率在 100× 物镜 2×zoom 下为 0.04μm。台阶高度测量的重复性为 0.1%，精度为 0.03%，能精准捕捉样品表面纳米级的形貌特征，测量结果符合 ISO 25178、ISO 4287/4288 等国际标准。
高效的测量与操作体验
设备支持高速扫描，不同测量阵列下最大扫描速度可达 171μm/sec，数秒内即可捕获百万级数据点，大幅提升测量效率。搭载的 Part Finder 自动条纹对焦与 Smart Setup 智能设置功能，无需专业的专家级培训，1 分钟内即可自动找到条纹并完成测试，降低了操作门槛。
同时，设备配备 0.5X-100X 多倍率物镜，涵盖标准、长焦、超长焦多种工作距离，搭配 0.5X、0.75X、1.5X、2.0X 可选的 zoom 切换，视场范围可达 0.04-17.49mm，集成图像拼接功能后还可实现更大范围的测量，适配不同尺寸与精度要求的样品检测。
智能化的软件与分析能力
设备搭载 ZYGO 专属的 Mx™分析测量软件，可实现完整的系统控制与数据分析，支持交互式三维形貌展示、定量数据输出，配备直观的导航栏与内置过程控制（SPC）的统计、控制图表，还可设置通过 / 失败限制，贴合工业生产的质量管控需求。
软件拥有丰富的分析功能：区域分析工具可智能化分离并分析测量数据的不同区域，实现特征高度尺寸量化、沟槽宽度深度分析等；支持拼接测量与自动化功能，可拼接高倍率高分辨率数据，自动测试样品不同区域，兼顾大视场范围与高数据密度；内置 Python 编程环境，可编写自动化测试程序或自定义分析功能，还能创建自定义的软件界面和控制板，适配不同的测量需求。此外，SmartPSI™技术可实现高精度、高速、低噪声测量，对超光滑表面的 Sq 结果测量可达 0.06nm。
广泛的样品适配性
设备可测量多种材料表面，包括透明、不透明、镀膜、非镀膜、反射、弱反射等类型，样品反射率适配范围为 0.05%-100%；可耐受的样品最大倾斜度为光滑样品 55°（100× 物镜）、散射面 86°，样品最大尺寸可达 89×203×203mm（高 × 宽 × 长），更大尺寸样品可部分悬空放置测量，无需特殊的样品制备流程，测量过程对样品无破坏。
设备硬件配置
核心硬件参数
扫描装置采用闭环反馈电容控制精密压电陶瓷，带防撞保护，纵向扫描范围涵盖 150μm 精密压电陶瓷扫描与 20mm 扩展扫描；光源为专利固态白光光源，带手动限位、孔径限位与光谱过滤功能；测量阵列可选 1600×1200、1000×1000、1000×600、1000×200 多种规格。
样品台分手动与电控两种类型，手动平台 XY 向平移范围 100mm、倾斜 ±3°，电控平台 XY 向平移范围 150mm、倾斜 ±3°，编码 XYZ 轴可选配；精密聚焦支持电控手动与聚焦辅助自动聚焦，100μm 行程下分辨率达 0.1μm，软件 Mx 中还集成样件观察窗，便于样品定位与观察。
整机规格与环境要求
设备主机尺寸为 75×64×56cm，含支撑且门关时最大高度为 151×73×61cm，抽屉闭合时为 83×73×61cm；主机重量约 91Kg，整套系统含支撑重量为 229Kg，可选配专用工作台。
控制系统采用 i7 级别 PC，搭配 23 寸 1080p 显示器，软件运行于 64 位 Microsoft Windows 10 系统。设备对环境的适应性较强，工作温度为 15-30℃，温度变化率需小于 1.0℃/15 分钟；相对湿度 5%-95% 且无凝结；内置隔振系统，可隔离 1-120Hz 的震动，震动标准需达到 VC-C 或更好，声学标准 NC30 或更好；供电为 100-240VAC、50/60Hz。
典型应用场景
NewView™ 9000 3D 光学表面轮廓仪凭借多维度的性能优势，可覆盖多个行业的精密测量需求，成为工艺控制与研发创新的重要计量工具：
- 精密机械加工：可测量机械零件的表面粗糙度、面形、波纹度，精准检测台阶高度、沟槽尺寸等关键参数，帮助企业严格控制制造过程，解决工艺加工中的精度问题，尤其可检测传动齿轮接触面的中频波纹度等传统计量方式难以捕捉的误差，助力提升零部件加工质量。
- 光学制造：适配光学元件的超精密测量需求，可检测光学镜片、透镜等产品的表面形貌，借助多倍率物镜测量不同空间频率的表面特征，SmartPSI™技术可快速完成超光滑光学表面的粗糙度测量，助力管控精密光学制造工艺。
- 消费电子：可测量手机摄像头、面板、半导体器件等产品的台阶、深度、纹理与关键尺寸，在单台设备上完成多参数测量，节省工艺时间；灵活的平台与可移植的应用程序，可实现从研发到量产的计量方案复用，适配消费电子行业从简单到复杂、小批量到大批量的生产需求。
- 摩擦学与材料研发：在材料研究、表面精加工、润滑工程等领域，可对金属、陶瓷、玻璃、PTFE 纳米复合膜、类金刚石薄膜等多种材料进行纳米级精度的表面特征测量，为磨损分析、新材料表面性能研究提供定量的 3D 形貌数据。
- 透明薄膜测量：可测量厚度大于 400nm 的薄膜，同时获取薄膜厚度与表面形貌数据，适配光学薄膜、电子薄膜等产品的检测需求。
- 先进技术研发：为新材料、新表面、新工艺的科学探索提供高精度、高重复性的量化计量结果，助力研发人员分析样品表面特征与性能的关联，加速研发进程。
此外，设备还可应用于医疗领域的人工关节植入体等精密部件测量，以及增强现实、虚拟现实显示器件等创新产品的计量检测，为各行业的技术升级与产品质量提升提供计量支撑。
定制化与配套服务
ZYGO 拥有专业的工程师团队，可根据客户的关键计量需求，为 NewView™ 9000 提供定制化解决方案，包括定制样品夹具、定制保护罩、专属隔振系统、定制软件功能，以及系统集成与 OEM 服务等。同时，ZYGO 在全球多地布局服务网络，凭借数十年的超精密计量技术经验，为客户提供技术支持与服务保障，确保设备始终保持稳定的测量性能，贴合客户在研发与生产中的长期计量需求。
NewView™ 9000 3D 光学表面轮廓仪将非接触测量技术、高精度性能与智能化设计深度融合，既满足实验室的高端研发测量需求，也能适配工业生产的过程控制与在线检测，是各行业实现精密计量、提升产品质量与研发效率的重要选择。
光学计量广泛用于实验室测量和工业制造中过程控制。基于光学计量方案测量表面形貌；具有非接 触、无破坏性、高敏感性的特点，计量结果分辨率和精度出色——这都是现代工业制造和研发 应用所必需的。
为什么选择3D 光学轮廓仪?
现代科技产品开发，常常是由关键表面的关 键性能来推动。3D 光学轮廓仪，用于测量关 键面的光洁度、粗糙度和形貌。ZYGO 3D光 学轮廓仪是您测量工具，因为我们能精 确、定量、非接触测量，在数秒内捕获百万 数据点，表征样品表面纳米级形貌特征，计 量结果符合ISO 标准。
NewViewTM 9000 3D 光学表面轮廓仪，易于使用，拥 有多项优良专业与创新技术，ZYGO 为您提供这一专业解决方案。
它们高度自动化，用途广泛，测试速度快，精度高；可选多种 配置，用于测量超光滑，粗糙或者大坡度表面。
在测量不同表面结构和纹理时，客户可以选择获得数百个参数结 果，包括符合ISO 25178标准的表面粗糙度结果，以及符合
ISO 4287/4288的二维轮廓参数。
ZYGO 3D光学轮廓仪，不仅仅是比传统的接触式轮廓仪测量表 面时更快，测量的视野更大，数据点更多；我们在精度和准确度 上，比传统的接触式轮廓仪更上一层楼。
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